化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫冰水設(shè)備

產(chǎn)品介紹

1.半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域，硅晶片表面處理工藝，在曝光的過(guò)程中，表面平整才能有效避免光的散射來(lái)實(shí)現(xiàn)圖像轉(zhuǎn)移，采用化學(xué)機(jī)械研磨法，能夠?qū)崿F(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)的工藝要求，在半導(dǎo)體芯片的硅晶片制作工藝進(jìn)入到毫米級(jí)后需采用化學(xué)機(jī)械研磨法，使硅晶片表面的平整程度達(dá)到制作的工藝要求。

2. 硅晶片與研磨墊相對(duì)運(yùn)動(dòng)過(guò)程會(huì)產(chǎn)生摩擦，從而會(huì)使研磨墊的溫度上升。溫度會(huì)升到80℃。研磨墊的溫度范圍30℃～75℃，研磨墊的溫度低于30℃或高于75℃時(shí)，會(huì)使研磨液與硅晶片表面的化學(xué)反應(yīng)特性變差，影響硅晶片表面的平整度，需配置一臺(tái)化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫冰水設(shè)備來(lái)控制水溫。

3. 化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫冰水設(shè)備提供低溫冷水對(duì)CMP研磨機(jī)中拋光帶的冷卻裝置降溫，解決了CMP研磨機(jī)使用過(guò)程中拋光帶溫度比較高的問(wèn)題，冷卻裝置包括一個(gè)冷水箱，水泵，冷水箱與拋光帶拋光工作面的接觸.能有效降低工作過(guò)程中拋光帶的溫度。

設(shè)備的應(yīng)用

硅晶片雙面化學(xué)機(jī)械CMP研磨拋光自帶的冷卻裝置的降溫是利用化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫冰水設(shè)備提供的冷源，調(diào)節(jié)系統(tǒng)和顯示控制系統(tǒng),通過(guò)顯示面板即可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工作溫度，冷卻水沿冷卻通道對(duì)下磨盤(pán)進(jìn)行冷卻,有效地控制了硅晶片的加工溫度,提高了硅晶片CMP研磨拋光的表面質(zhì)量,降低了硅晶片碎片率。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫冰水設(shè)備作為化學(xué)機(jī)械CMP研磨過(guò)程中研磨拋光的溫度控制系統(tǒng)，通過(guò)控制拋光的溫度使得硅晶片在拋光程中的溫度得到控制，良品率等保持在理想狀態(tài)，延長(zhǎng)研磨拋光的使用時(shí)間，有效提高硅晶片的平整性和穩(wěn)定性.

產(chǎn)品特點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)型：智能控制水溫5～30℃±1，

非標(biāo)定制型：智能控制水溫-50～85℃±0.3；控制水流1～1000L±0.03L；控制壓力0.1～10±0.04Mpa

智能控制系統(tǒng)：PCL、觸摸屏，，數(shù)據(jù)采集，RS485接口，選配 CAN通信總線，以太網(wǎng)接口遠(yuǎn)程控制，可連接上位機(jī)及手機(jī)APP控制。

保護(hù)功能：電源相序保護(hù)裝置、漏電保護(hù)裝置、壓縮機(jī)過(guò)載保護(hù)裝置、電圈過(guò)熱保護(hù)裝置、高低壓保護(hù)裝

置、缺水保護(hù)裝置、冷凍水流保護(hù)裝置、防凍保護(hù)裝置。

售后服務(wù)

為創(chuàng)造品牌，樹(shù)立企業(yè)形象，我們本著“一切追求質(zhì)量，用戶滿意為宗旨”的精神，以“優(yōu)惠的價(jià)格、周到的服務(wù)、可靠的產(chǎn)品質(zhì)量”的原則向您作出以下鄭重承諾：

1、買方使用部門可以到我司進(jìn)行免費(fèi)設(shè)備操作培訓(xùn)；

2、使用三個(gè)月后，我司客服部會(huì)對(duì)設(shè)備的使用狀況回訪；

3、我司所有設(shè)備，免費(fèi)保修一年，質(zhì)保期內(nèi)，所需零配件的及維修均我司承擔(dān)；但設(shè)備非正常損壞均不屬保修范圍，買方應(yīng)支付所產(chǎn)生的更換零配件、路費(fèi)、食宿費(fèi)用。

4、根據(jù)消費(fèi)者要求，免費(fèi)上門調(diào)試及有關(guān)使用等方面的技術(shù)指導(dǎo)

5、免費(fèi)保修期外，當(dāng)設(shè)備損壞時(shí)買方需支付所更換配件費(fèi)用（按材料采購(gòu)成本計(jì)價(jià)）；

6、確保設(shè)備零配件的供應(yīng)，可簽終身維修服務(wù)協(xié)議，負(fù)責(zé)產(chǎn)品終身維修服務(wù)。

7、接到客戶電話及“設(shè)備故障通知書(shū)”后，通過(guò)遠(yuǎn)程維護(hù)，如維護(hù)不了廣東范圍內(nèi)24小時(shí)之內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)處理，廣東省以外72小時(shí)之內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)處理。

組技術(shù)參數(shù)