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??????????????????????? ArF: ????????????? α-???????????????????? (GBLMA) ??? 3-????????-1-?????????????????? (HADA), ???????????????????????????????????????? 70 nm. ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????, ??????????????????????? 193 nm, ????????????????????????? 4.2, ??????????????????????????????????????????????? 14 nm.
??????????????????????????????????????????????????????: ?????????????????????????????????, ??????????????????????????????????????????????????????? (ε) ??????? 2.8, ???????????????????????? 5G, ???????????????????????????????????????? (??????? 30% ???????????????????????????????????????????????).
2. ???????????????????????? ??? ???????????
???????????????????????????????: ???????????????????????????????????????? 92% (400-800 nm), ???????? < 0.5%, ?????????????????????????? LED, ????????????????????? 150℃ ??????????????????????? (?????????????????????? YI < 1).
??????????????????????????? VR: ????????????????????????? (PC), ????????????????????????????????????????????? (?????????????????? 4H) ?????????????? (???? 180° 1000 ????? ???????????), ????????????????????? (Fresnel lens) ?????? VR.
3. ??????????????????????? ??? ????????????
???????????????????????????: ????????????????????????????????????, ???????????????????????????????????????????????? 250℃ (????? 0 ????????????????????), ??????????????????????????????? 1000 ??????? (???????? ASTM B117), ???????????????????????????????????????????.
??????????????????? UV ?????????: ?????????? AdMA 10-15% ??????????????????????????????????????????? 28 MPa (?????????????????????????), ???????????????????????????????????????????????????????????? -50℃ ?? 180℃, ??????????????????????????????????????????.
4. ????????????????????????
????????????????????????????????????? (PI): ???????? AdMA ???????????????, ??????????????????????????? PI, ?????????????????????????? 15% ????????????? 45%, ???????????????????????????????????????????????? > 280℃, ??????????????????????????????????????.
???????????????????????????????: ??????????????????????????????????????????????????????????? (TMPTMA), ??????????????????????????????, ????????????????????? 300 MPa, ???????????????????????????????? (350 MPa), ??????????????????????????????????????? ISO 10993.
| ???????????????: | Chemicals |
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